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菲希尔 X-RAY XDV- SEMI晶圆微结构的自动测量系统

    FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μSEMI专为半导体行业内行业内中的品质把握而设定,可全主动估测晶片上的微结构设计。 另一主动化设备是密闭的,极为符合在美观室适用。 FOUP和SMIF吊舱可主动嫁接至估测系统软件。 XDV-μ SEMI组织结构的外理和估测彻底暂时无法人工成本调控。 在机制设别功能模块,X-RAY 可可信度地确定到确定的估测座位。 这类主动估测整个过程除掉了纯手工外理引起的损伤和的污染,并提高认识了开展有价值观的晶圆的高带宽。

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